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er）和微陀螺仪（microgyroscope），它们是微机电系统（mems）的一类。微加速度计的功能是测量载体的加速度，微陀螺仪的功能是测量载体的角速度。微加速度计最典型的原理是：以一个质量块作为敏感部件，当载体有某一方向的加速度时，质量快向一个方向偏移，然后通过电极测量这个位移量（或产生偏移的惯性力）换算为加速度按位移量（或产生偏移的惯性力）的测量方法分类有：压阻式加速度计、电容式、隧道电流式、谐振式、热传感式。 mems惯性传感器模块中的三轴陀螺由adi公司3个单轴mems角速度传感器adxrs150组成，其角速度范围为150°/s;三轴加速度计采用 adi公司的mems加速度传感器adxl103和adxl203组成，其中adxl103是单轴加速度传感器，adxl203是单芯片双轴加速度传感器，将其正交放置组成三轴加速度计来测量运行载体沿其正交轴方向的线加速度。所选陀螺及加速度计均采用微机械技术，性能优越、价格低廉，具有较高的性价比。根据惯性传感器信号特点及a/d输入范围，系统的信号调理模块主要包括信号的放大和低通滤波处理。选择具有高精度、零漂移、轨对轨特点的运算放大器作为信号放大及缓冲器来
。这些电容检测元件都是由硅材料制成的横梁，它们与两组附着在基片上的静止硅横梁互相交叉，因而形成两个标称值相等的电容器。由角速度引起的位移在该系统内产生一个差分电容。如果弹簧的弹性系数为k2wv m。如果总电容为c2wv，它直接与该角速度成比例。这种关系的逼真度在实际应用中非常好，其线性误差小于0.1％。 mc/gk，硅横梁的间距为g，则差分电容为/k，那么反作用力造成的位移为 2、陀螺仪的构造以及电路的实现 adxrs系列陀螺仪的外围尺寸为7mm×7mm×3mm，采用bga-32封装技术，有adxrs150和adxrs300两种型号，它们的功能电路完全相同，唯一不同在于前者的量程为±150°/s，后者的量程为±300°/s。图3显示了adxrs300的内部电路结构和外围电路，其中外围电路主要是电容和电阻组成。 引脚avcc接5v电源电压，22nf的泵浦电容用于产生12v的泵浦电压以供部分电路使用。测得的角速度以电压形式在引脚rateout输出，0°/s时输出电压为2.5v，rateout与引脚sumj之间并联一个电阻routadxrs300的角速度响应带宽，－3db频率由下式决定：和电容cout
1 系统组成 本系统主要由传感器组模块、数据采集卡、便携式计算机、电源等组成，系统硬件如图1所示。 1.1 微惯性测量单元（mimu） 微型惯性测量组合（miniature inertial measurement unit,mimu）是一种重要的mems,它是由微型陀螺仪、微型加速度计，专用集成电路（asic）、嵌入式微机及相应的导航软件组成，可以提供运动载体的位置、速度和姿态信息。 自主设计的微惯性测量单元。由2个adxl203型双向加速度计和3个adxrs150型角速度陀螺组成，要求3个角速度陀螺安装在3个正交平面上，其敏感轴相互垂直，组成测量体的三维坐标系，2个双向加速度计安装在另外2个面上（剩下的1个面作为mimu与汽车的安装固定平面）。为了保证加速度计的敏感轴也组成三维坐标系，要求测量垂向加速度的2个敏感轴相互平行（由于本mimu在垂向测量了2次，因此在数据采集阶段垂向加速度取两者的均值）。 1.2 数据采集卡 fpga（field-programmable gate array），即现场可编程门阵列，它是在pal、gal、cpld等
9月我们已经生产了一亿多只惯性传感器。我们独特的imems工艺能使传感器单元和信号调理电路集成在一颗芯片上，从而允许我们减小尺寸、降低功耗和节省成本，同时提高性能和定制生产能力。鉴于我们的产品建立在非凡的产品质量和可靠性基础上，现在已有1亿5千万只传感器安装在安全至关重要的汽车安全气囊系统，并且作为衡量其它mems传感器供应商产品的检测标准。[产品选型表 - imems加速计]主推产品adxrs401 - low-cost, integrated, angular rate gyroscope adxrs150 - angular rate sensor adxrs150 adxrs300 - angular rate sensor adxrs300 主推产品 adxrs401 - low-cost, integrated, angular rate gyroscope adxrs150 - angular rate sensor adxrs150 adxrs300 - angular rate sensor adxrs300 analog devices’ imems® gyros
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